制造商：南京先歐儀器制造有限公司

   XO-DLZ-1000W微波等離子體材料反應系統(tǒng)

簡介：科學研究表明微波等離子體具有無電極、大面（體）積、低能耗、高效率和低成本等多種優(yōu)點，比之其它電激勵類型的等離子體有更高的活性。微波等離子體的運行氣壓很寬，從10-3Pa（微波ECR等離子體）到超過大氣壓（微波等離子體炬）。并且裝置的等離子體發(fā)生室和處理室可分可合，工藝的靈活性大。無電極放電避免了等離子體對處理物的損傷。所以微波等離子體有著廣泛的應用，特別適用于新材料（包括薄膜，纖維，粉末以及高性能復合材料等）的制備，金屬制品的表面強化和防腐蝕，紡織品的后整理，高聚物聚合及其表面改性，微電子器件及高功率電子器件和光電子器件的制造，納米材料的制備和器件的開發(fā)，高效照明光源和紫外光源的開發(fā)，有毒有害氣體的分解凈化及其它三廢處理等多個工業(yè)技術領域。例如微電子器件的等離子體加工工藝絕大部分都是用微波等離子體設備來實現的。光學級和微電子級的金剛石薄膜通常也是用微波等離子體化學氣相沉積工藝來制備的。光纖的制造和平面光波導器件加工也是用微波等離子體技術來實現的。等等。微波等離子體在高技術產品的等離子體加工技術中將越來越起到主導作用。

參數表：

1、等離子體發(fā)生室與樣品處理室分開，均為不銹鋼腔體。

2、樣品處理室ф262（內徑）×165（高），左、右側及前門上各有一個（共3個）ф90觀察窗，樣品裝卸門146（寬）×68（高），內有ф120 （直徑）水平樣品臺，樣品臺面離樣品處理室底面高度兩級可調節(jié)27-57-87。                                                     

3、等離子體發(fā)生室ф144（內徑）×96（高）處于樣品處理室之上。

4、兩路氣體輸入，在等離子體發(fā)生室頂部中心輸入工作氣體，可用氮氣、氧氣、氦氣等常用氣體。                           

5、微波發(fā)生器由帶有水冷磁控管的激勵腔和微波源供電電源組成。微波頻率2.45GHz。

6、微波功率0－1000W連續(xù)可調。帶有微波輸出功率顯示（精確至1W）和數字指示?？砷L時間連續(xù)工作。

7、裝置常規(guī)采用380V三相電源。                                         

8、自帶冷卻水循環(huán)系統(tǒng)形成冷卻水. 制冷系統(tǒng)可保證冷卻水溫度在30度以下, 無水源要求.                

9、真空度數字顯示，精確至1Pa。                                

10、氣體流量在較大范圍可調并顯示（精確至0.01L/min）。       

11、無電極放電，避免放電污染，能量轉換效率高。